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問答題
【簡答題】化學(xué)氣相沉積法的原理是什么？
答案：
是通過化學(xué)反應(yīng)的方式，利用加熱等離子激勵(lì)火光輻射等各種能源，在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)...
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問答題
【簡答題】為適應(yīng)CVD技術(shù)的需要，選擇原料、產(chǎn)物及反應(yīng)類型等通常需滿足什么要求？
答案：
（1）反應(yīng)劑在室溫或不太高的溫度下最好是氣態(tài)或有較高的蒸汽壓而易于揮發(fā)成蒸汽的液態(tài)或活固態(tài)物質(zhì)，且有很高的純度；
問答題
【簡答題】化學(xué)氣相沉積法的概念是什么？
答案：
化學(xué)氣相沉積簡單來說就是兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個(gè)反應(yīng)室內(nèi)，然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉...
