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物理氣相沉積
答案:
以物理機制來進行薄膜沉積而不涉及化學反應的沉積技術,所謂物理機制是物質的相變化現(xiàn)象,如蒸鍍,蒸鍍源有固態(tài)轉化為氣態(tài)濺鍍,...
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是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經(jīng)化...
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電位序
答案:
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