名詞解釋

答案：外延是指在單晶襯底上生長出位向相同的同類單晶體（同質(zhì)外延），或者生長出具有共格或半共格聯(lián)系的異類單晶體（異質(zhì)外延）的技術(shù)...

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答案：

蒸鍍：讓材料加熱氣化（發(fā)射出粒子），再沉積到基片上成膜。
濺射：用離子轟擊，將靶材原子打出來，再沉積到基片上成膜。

答案：

（1）輝光放電直流濺射
（2）射頻濺射
（3）磁控濺射

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