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問答題

【簡答題】簡述化學氣相沉積生產裝置

答案：

（1）氣相反應室；
（2）加熱系統(tǒng)；
（3）氣體控制系統(tǒng)；
（4）排氣系統(tǒng)

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答案：兩種常見的流體流動方式：流速與流向均平順者稱為“層流”；流動過程中產生擾動等不均勻現(xiàn)象的流動形式，則稱為“湍流”。

【簡答題】簡述熱能傳遞的方式

答案：主要有傳導、對流、輻射三種方式。熱傳導是固體中熱傳遞的主要方式，是將基片置于經加熱的晶座上面，借著能量在熱導體間的傳導，...