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問答題
【簡答題】簡述薄膜表面（晶粒）結(jié)構(gòu)與溫度的關(guān)系。
答案：
在低溫下，吸附原子的擴散速度低，成核少，少量晶核縱向生長，易長成錐狀晶粒，結(jié)構(gòu)不致密；溫度升高，晶界變模糊，形成密排的致...
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問答題
【簡答題】薄膜的晶態(tài)結(jié)構(gòu)與體材料有區(qū)別嗎？如果有，是怎樣的區(qū)別？
答案：
多數(shù)情況下薄膜中晶粒的晶體結(jié)構(gòu)與體材料相同，但其晶格常數(shù)有變化。晶格常數(shù)變化原因是薄膜中有較大的內(nèi)應(yīng)力和表面張力。晶粒越...
問答題
【簡答題】薄膜的組織（晶態(tài)）結(jié)構(gòu)有幾種形態(tài)？各有什么特點？
答案：
晶態(tài)結(jié)構(gòu)有無定形、多晶、織構(gòu)、單晶等幾種形態(tài)。
無定形（非晶態(tài)）：降低基體溫度可降低吸附原子的表面擴散速率，有...
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