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判斷題
實(shí)現(xiàn)對(duì)CVD淀積多晶硅摻雜主要有三種工藝：擴(kuò)散、離子注入、原位摻雜。由于原位摻雜比較簡(jiǎn)單，所以被廣泛采用。
答案：
錯(cuò)誤
