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填空題

根據(jù)向襯底輸送原子的方式可以把外延分為：（）、（）、（）。

答案：氣相外延；液相外延；固相外延

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CVD過程中化學反應所需的激活能來源有（）、（）、（）等。

答案：熱能；等離子體；光能

常用的濺射鍍膜氣體是（），射頻濺射鍍膜的射頻頻率是（）。

答案：氬氣（Ar）；13.56MHz

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