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問答題
【簡答題】簡述光刻膠的概念及目的
答案：
概念：一種有機(jī)化合物，受紫外光曝光后，在顯影液中的溶解度會發(fā)生變化
目的：
（1）將掩模版圖案轉(zhuǎn)移到...
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問答題
【簡答題】簡述離子注入的優(yōu)缺點(diǎn)
答案：
優(yōu)點(diǎn)：精確控制雜質(zhì)含量、很好的雜質(zhì)均勻性、對雜質(zhì)穿透深度有很好的控制、產(chǎn)生單一離子束、低溫工藝、注入的離子能穿過薄膜、無...
