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多項(xiàng)選擇題

濺射與蒸鍍比較，下列那種說法正確（）

A.蒸鍍工藝的普適性更好
B.濺射工藝的普適性更好
C.濺射工藝薄膜質(zhì)量（如粘附性、保形性等）更好
D.蒸鍍工藝薄膜質(zhì)量（如粘附性、保形性等）更好

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多項(xiàng)選擇題

從兩電極面積判斷射頻濺射時，靶放在那個電極上、襯底放在那個電極上（）

A.襯底放在面積大的電極上
B.靶放在面積大的電極上
C.襯底放在面積小的電極上
D.靶放在面積小的電極上

單項(xiàng)選擇題

為了避免尖楔現(xiàn)象用含1%硅的硅鋁合金制備IC內(nèi)電極，多采用下列哪種工藝方法（）

A.射頻濺射
B.LPCVD
C.電阻蒸鍍
D.PECVD

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