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濺射工藝下面哪種方法可以改善其薄膜的臺階覆蓋性
答案:
答案:使用中性粒子束輔助濺射。 解析:在濺射工藝中,薄膜的臺階覆蓋性(step coverage)是指薄膜在臺階結(jié)構(gòu)上...
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